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High Purity Fused Silica Quartz Boat Custom Glass Parts Integral Forming für Halbleiter Aufbrühen Tray

  • High Purity Fused Silica Quartz Boat Custom Glass Parts Integral Forming For Semiconductor Annealing Tray
  • High Purity Fused Silica Quartz Boat Custom Glass Parts Integral Forming For Semiconductor Annealing Tray
  • High Purity Fused Silica Quartz Boat Custom Glass Parts Integral Forming For Semiconductor Annealing Tray
Produktdetails
Material Hochreines Quarzglas (SiO2 > 99,99 %) Bildungsprozess Integrale Warmumformung
Maximale Betriebstemperatur 1100°C Chemische Beständigkeit HF, starke Säuren und Laugen, organische Lösungsmittel
Wärmeausdehnung WAK 5,5 x 10^-7 /°C (Niedrig) Oberflächenbeschaffenheit Feinpolierte, glatte Kanten
Reinheit Keine Metallionenausfällung Anwendung Rohrofensintern, Halbleiterglühen, Laborveraschung, Forschung und Entwicklung neuer Materialien
Hervorheben

Hochreines geschmolzenes Siliziumboot

,

Integral geformtes Quarzboot

,

Quarz-Boot für Halbleiterbrennschacht
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Produkt-Beschreibung

Produktübersicht

DerBoot aus hochreinem Quarzglasist ein präzisionsgeformter Hochtemperaturträger, der für das Sintern in Rohröfen, die Halbleiterverarbeitung und thermische Laboranwendungen entwickelt wurde. Es wird durch integrierte Warmumformung für gleichmäßige Wandstärken und feinpolierte Oberflächen hergestellt und bietet eine hervorragende thermische Stabilität bis 1100 °C, eine hervorragende chemische Beständigkeit gegenüber Flusssäure und konzentrierten korrosiven Reagenzien sowie keine Ausfällung von Verunreinigungen – und gewährleistet so eine kontaminationsfreie Verarbeitung für die anspruchsvollsten Industrie- und Forschungsumgebungen.

Hauptmerkmale

  • Integrale Warmumformung:Die einteilige Konstruktion gewährleistet eine gleichmäßige Wandstärke, strukturelle Integrität und eliminiert schwache Verbindungen oder Nähte
  • 1100 °C hohe Temperaturbeständigkeit:Behält Dimensionsstabilität und mechanische Festigkeit bei längerem Hochtemperaturbetrieb in Rohröfen
  • HF- und starke Chemikalienbeständigkeit:Hervorragende chemische Beständigkeit gegen Flusssäure, konzentrierte Säuren, starke Laugen und organische Lösungsmittel
  • Ausgezeichnete Thermoschockstabilität:Der niedrige Wärmeausdehnungskoeffizient (WAK 5,5 x 10^-7/°C) verhindert Risse bei schnellen Aufheiz- und Abkühlzyklen
  • Niederschlag ohne Verunreinigungen:SiO2 > 99,99 % Reinheit garantiert keine Metallionenauswaschung und schützt so die Wafer- und Probenintegrität
  • Präzisionsfinish:Feinpolierte Oberfläche mit standardisierten Abmessungen, glatten Kanten und ohne Absplitterungen für eine sichere Probenhandhabung

Anwendungen

IndustrieAnwendung
Sintern im RohrofenTräger für die Hochtemperaturkalzinierung von Pulvern, Wafern und Keramiksubstraten in Röhrenöfen mit kontrollierter Atmosphäre
HalbleiterverarbeitungHochtemperatur-Vorbehandlungswanne zum Glühen und Vorbeschichten von Wafern sorgt für ultrareine, kontaminationsfreie Bedingungen
LabortestsVeraschungsexperiment und korrosiver Tauchprobenbehälter für die analytische Chemie und Materialcharakterisierung
Forschung und Entwicklung neuer MaterialienPulversynthese- und Vorläufer-Wärmebehandlungsbehälter für die fortschrittliche Materialentwicklung

Wettbewerbsvorteile

vs. Borosilikatglasschiffchen:Borosilikatglas verträgt Flusssäure nicht und wird bei hohen Temperaturen weich; Dieses Quarzboot widersteht starker Korrosion und behält seine mechanische Integrität durch wiederholte Temperaturwechsel bei 1100 °C ohne Verformung oder Rissbildung

vs. Aluminiumoxid/Keramikboot:Überlegene Thermoschockbeständigkeit ermöglicht schnelles Aufheizen und Abkühlen; transparente Wand ermöglicht visuelle Prozessüberwachung; Keine Metallverunreinigung eliminiert das Risiko einer Kontamination von Wafern und Proben

Spezifikationen

ParameterWert
MaterialHochreines Quarzglas (SiO2 > 99,99 %)
UmformprozessIntegrale Warmumformung
Maximale Betriebstemperatur1100°C
Chemische BeständigkeitHF, starke Säuren und Laugen, organische Lösungsmittel
WärmeausdehnungWAK 5,5 x 10^-7 /°C (Niedrig)
OberflächenbeschaffenheitFeinpolierte, glatte Kanten
ReinheitKeine Metallionenausfällung
Umbauten:

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