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Beschichtete Glasträgerstufe 150 mm Durchmesser 6 mm Dicke optische Beschichtungsoberfläche
| Durchmesser | 150mm | Dicke | 6mm |
|---|---|---|---|
| Oberflächenbehandlung | Optische Beschichtung | Beschichtungsqualität | Gleichmäßige, starke Haftung |
| Substrat | Hohe Ebenheit, blasenfrei | Material | Glas mit optischer Qualität |
| Hervorheben | Beschichtete Glasträgerstufe 150 mm,Halbleiterwaferträgerstadium,Optische Vakuumbeschichtungsanlage |
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Die beschichtete Glas-Trägerplatte ist eine präzise optische Plattform mit einem Durchmesser von 150 mm und einer Dicke von 6 mm, die eine optische Beschichtungsbehandlung auf der Oberfläche aufweist. Auf einem hochflachen, blasenfreien Glassubstrat aufgebaut, liefert die Platte stabile Lichttransmissions- und Reflexionsleistungen für anspruchsvolle optische und Halbleiteranwendungen. Die Beschichtungsschicht ist gleichmäßig mit starker Haftung und bietet zuverlässige Leistung unter wiederholter Handhabung und Hochtemperaturbetrieb. Mit engen Bearbeitungstoleranzen und einem kratzfreien Oberflächen-Design schützt die Trägerplatte Werkstücke während des Ladens, Transports und der Bearbeitung, was sie zu einer idealen Plattform für Wafer-Transport, optische Tests und Vakuum-Beschichtungsbefestigungen macht.
Spezifikation| Parameter | Spezifikation |
|---|---|
| Durchmesser | 150mm |
| Dicke | 6mm |
| Oberflächenbehandlung | Optische Beschichtung |
| Beschichtungsqualität | Gleichmäßig, starke Haftung |
| Substrat | Hohe Ebenheit, blasenfrei |
| Material | Optisches Glas |
| Anwendung | Wafer-Träger, optische Tests, Vakuum-Beschichtung |
- Gleichmäßige Beschichtung mit starker Haftung: Die optische Beschichtung ist gleichmäßig aufgetragen und haftet fest am Substrat, was ein konsistentes optisches Verhalten über die gesamte Oberfläche gewährleistet.
- Hochflaches, blasenfreies Substrat: Das Präzisionssubstrat bietet eine ebene, defektfreie Basis, die Messungen und Handhabung stabil hält.
- Stabile Lichttransmission und Reflexion: Die beschichtete Oberfläche liefert wiederholbare optische Leistung und unterstützt genaue Inspektion und Messung.
- Verschleiß- und korrosionsbeständig: Die strapazierfähige Oberfläche hält Reinigungsflüssigkeiten und mechanischem Kontakt stand, ohne die Leistung zu beeinträchtigen.
- Kontrollierbare Beschichtungpräzision: Beschichtungsdicke und -gleichmäßigkeit werden präzise gesteuert, um spezifische optische und Anwendungsanforderungen zu erfüllen.
Die beschichtete Glas-Trägerplatte ist für Halbleiter-, optische und Vakuum-Verarbeitungssysteme konzipiert, die eine stabile, beschichtete Plattform benötigen. Sie wird häufig als Halbleiter-Wafer-Träger verwendet und bietet eine ebene und saubere Oberfläche, die Wafer während der Inspektion und Verarbeitung sicher hält. In der Messtechnik und Qualitätskontrolle dient die Platte als optische Testplattform und bietet konsistente Transmissions- und Reflexionseigenschaften für zuverlässige Messungen. Die Komponente wird auch als Vakuum-Beschichtungsbefestigung verwendet, um Substrate und Werkstücke während der Dünnschichtabscheidung zu positionieren. Darüber hinaus fungiert die Platte als Saugträger für optische Komponenten, wo ihre ebene beschichtete Oberfläche ein stabiles Vakuum-Chucking ermöglicht, ohne empfindliche Teile zu zerkratzen.
Vorteile- Kontrollierbare Beschichtungpräzision: Beschichtungsparameter werden abgestimmt, um für jede Anwendung eine exakte optische Leistung zu erzielen.
- Enge Bearbeitungstoleranzen: Durchmesser, Dicke und Ebenheit werden innerhalb enger Grenzen kontrolliert für zuverlässige Passform und Ausrichtung.
- Abziehfeste Beschichtung bei hoher Temperatur: Die Beschichtung behält auch unter erhöhten Betriebstemperaturen eine starke Haftung.
- Kratzfrei für Werkstücke: Die glatte, bearbeitete Oberfläche schützt Wafer und optische Komponenten vor Beschädigungen während der Handhabung.

