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Einseitig polierte Quarzplatte 200x250x6mm hohe Reinheit für Halbleiter Waferträger
| Material | Hoher Reinheitsgrad Quarz | Abmessungen | 200 mm x 250 mm x 6 mm |
|---|---|---|---|
| Oberfläche | Einseitig präzise optisch poliert | Temperaturbeständigkeit | Bis zu 1100°C |
| Chemische Beständigkeit | HF- und stark säure-/alkalibeständig | Reinheit | Hohe Reinheit, keine Metallausfällung |
| Hervorheben | Einseitig polierte Quarzplatte,200x250x6mm Quarzplatte,Quarzplatte für Halbleiterwaferträger |
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Einseitig polierte Quarzplatte 200x250x6mm
Diese einseitig polierte Quarzplatte, mit einer Größe von 200x250x6 mm, verfügt über eine präzise optisch polierte Oberfläche mit der gegenüberliegenden Seite links für eine stabile Positionierung.Hergestellt aus hochreinem Quarz, bietet eine Wärmebeständigkeit von 1100°C und eine überlegene chemische Haltbarkeit, ideal für Halbleiterwaferträger, optische Experimentsubstrate,Vakuumbeschichtungsanlagen und Laborwerkzeuge für hohe Temperaturen.
Produktparameter
| Parameter | Spezifikation |
|---|---|
| Material | Quarz von hoher Reinheit |
| Abmessungen | 200 mm x 250 mm x 6 mm |
| Oberflächenbearbeitung | Einseitig optisch poliert |
| Temperaturbeständigkeit | Bis zu 1100 °C |
| Chemische Resistenz | HF- und starke Säure-/Alkalibeständigkeit |
| Übertragbarkeit | Hohe Durchlässigkeit (polierte Seite) |
| Thermische Ausdehnung | Niedrige Ausdehnung, Wärmeschockbeständigkeit |
| Reinheit | Hohe Reinheit, keine Metallverunreinigung |
Wesentliche Merkmale
- Einseitig optisch poliertEine Oberfläche mit präzisem Spiegelpolering für eine hervorragende Lichtdurchlässigkeit und optische Klarheit, während die Bodenrückseite eine stabile Positionierung und Montage bietet.
- 1100°C Wärmebeständigkeit- Beibehalten Strukturintegrität und Dimensionsstabilität bei anhaltend hohen Temperaturen ohne Verformung, ideal für die Verarbeitung von Halbleiterwafern und Diffusionsarbeiten.
- HF- und starke chemische Beständigkeit- Überlegender als Borosilikatglas, widerstandsfähig gegen Fluorwasserstoffsäure und konzentrierte Säuren/Alkalien in anspruchsvollen Umgebungen für Halbleiter und chemische Verarbeitung.
- Hohe Reinheit, keine Verunreinigung- 99,99% reiner Quarz mit null Metallverunreinigungen, was die Kontamination von Wafer und Proben bei der Herstellung von Halbleitern mit hoher Reinheit verhindert.
- Niedrige thermische Expansion• Eine ausgezeichnete Wärmeschlagfestigkeit verhindert bei schnellen Temperaturkreisläufen Risse und sorgt für eine zuverlässige Langzeitleistung bei zyklischen Heizanwendungen.
Anwendungen
1. Halbleiter- und Photovoltaikindustrie
Waferträgerplatte für Splitterbeschichtungs- und Diffusionsverfahren.Aufrechterhaltung der Dimensionsstabilität bei hohen Verarbeitungstemperaturen ohne Verlust von Verunreinigungen.
2. Optische Instrumentenindustrie
Referenzsubstrat für Spektrentests und Optikpfade-Festplatte. Die polierte Oberfläche sorgt für eine klare Lichtübertragung, während die nicht polierte Seite eine stabile Positionierung und Montage ermöglicht.
3. Präzisionsbeschichtung
Vakuumbeschichtungsanlage für die Optiklinsenablagerung, widerstandsfähig gegen hohe Kammertemperaturen und korrosive Prozessgase bei Dünnschichtbeschichtungen.
4Chemielabor.
Hochtemperatur-Sinterplatte und Korrosionsprobenträger, kompatibel mit HF und verschiedenen starken korrosiven Reagenzien für anspruchsvolle chemische Experimente.
Vorteile gegenüber Borosilikatglas
Im Gegensatz zu Borosilikatglasplatten, die von HF angegriffen werden und bei hohen Temperaturen erweichen, bietet diese einseitig polierte Quarzplatte vollen HF-Widerstand, einen anhaltenden Betrieb bei 1100 °C,Oberflächenabschluss in Spiegelform für eine hervorragende Lichtdurchlässigkeit, geringe thermische Ausdehnung für Rissbeständigkeit und hohe Reinheitskonstruktion für kontaminierungsfreie Halbleiter- und Präzisionsfertigungsumgebungen.

