5 Löcher 127x127x3mm Quarzglasplatte für die Kalibrierung von 5-Zoll-Halbleiterwafergeräten

Quarzglasplatte mit 5 Löchern, 127 x 127 x 3 mm, für 5-Zoll-Wafer-Kalibrierung

Diese Quarzglas-Kalibrierplatte mit 5 Löchern ist ein hochpräzises Kalibrierungswerkzeug für Halbleitergeräte. Mit Abmessungen von 127 x 127 x 3 mm und fünf präzise gefertigten Positionierungslöchern entspricht es den standardmäßigen 5-Zoll-Wafer-Spezifikationen für die tägliche Geräteüberprüfung und -kalibrierung in Prober-, AOI-, Die-Bonder- und optischen Messanwendungen.

Produktparameter

Hauptmerkmale

• 5 präzise Positionierungslöcher– Fünf Positionierungslöcher mit enger Toleranz für die Kalibrierung der Gerätekoordinaten, die die tägliche Überprüfung des Siliziumwafers ersetzen.
• Ultrahohe Ebenheit– Beidseitig präzisionspolierte Oberfläche mit minimaler thermischer Verformung für gleichbleibende Kalibrierungsgenauigkeit.
• Beständigkeit gegen chemische Reinigung– Beständig gegen Standard-Reinigungslösungsmittel für Halbleiter und behält auch nach wiederholten Reinigungszyklen die Dimensionsstabilität bei.
• Optische Einheitlichkeit– Quarzglas mit geringer Spannung sorgt für eine gleichmäßige optische Übertragung für AOI- und Vision-Inspektionssysteme.
• Langzeitstabilität– Stabile Präzision bei wiederholtem Langzeitgebrauch, konzipiert als spezieller Kalibrierungsstandard für die Halbleiterindustrie.

Anwendungen

1. Inspektion von Halbleiterwafern

Master-Kalibrierungsplatte zur Überprüfung der Ebenheit und Abmessung von 5-Zoll-Wafern. Fünf Positionierungslöcher ermöglichen die tägliche Kalibrierung der Gerätekoordinaten und ersetzen die Standardroutinen für Siliziumwafer-Kontrollpunkte. AOI-Referenzplatte für die optische Inspektion zur Kalibrierung des Linsenfokus und der Erkennungsgenauigkeit.

2. Verpackungs- und Prüfprozess

Referenzplatte zur Positionierung der Sondenstation zur Überprüfung der Sondenposition und Überprüfung der Plattformebenheit über das Fünf-Loch-Layout. Ausrichtungskalibrierung des Die-Bonders und der Bestückungsmaschine, Korrektur der Positionierungsabweichung der mechanischen Vorrichtung.

3. Labor für optische Messtechnik

Standard-Kalibrierplatte für optische Messgeräte und Konturtester, die zur regelmäßigen Überprüfung der Messgenauigkeit von Geräten verwendet wird.

4. Automatisierte Kalibrierung der Produktionslinienvorrichtungen

Kalibrierstandard für automatisierte Halbleitergeräte, konzipiert für die wiederholte Reinigung ohne Verformung in Produktionsumgebungen.

Vorteile gegenüber normalem Glas

Im Gegensatz zu herkömmlichen Glasplatten verfügt diese Quarzglas-Kalibrierplatte über eine beidseitige Präzisionspolitur mit extrem geringer Oberflächenverformung. Die Fünf-Loch-Koaxialität und der Bohrungsdurchmesser werden innerhalb strenger Toleranzen streng kontrolliert. Es ist beständig gegen Standard-Reinigungschemikalien für Halbleiter und liefert stabile Präzision bei wiederholtem Langzeitgebrauch – was es zum branchenüblichen Kalibrierungsteil für Halbleiteranwendungen macht.